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无油机械真空泵及其应用(三)

[导读]综述了适合于电子行业用的无油机械真空泵的种类,介绍几种无油机械真空泵的结构、性能、特点和存在的问题,以及对泵的选择和应用。

BENWENSUOJIESHAODEWUYOUJIXIEZHENKONGBENGJUNZHIZHIPAIDAQIDEBENG。SUOWEIWUYOUSHIZHIZAIBENGQIANGNEIBUSHIYONGYOULEIHEYETI , ERCHUANDONGDECHILUNHEZHOUCHENGHAIXUYAOYOULEIRUNHUA,ZHISHIYOUZHENGQIBUYUNXUJINRUBENGDEXIQIKOU。

WUYOUJIXIEZHENKONGBENGDEXUANZEYUYINGYONG

    常规选泵的办法是根据工艺过程需要的真空度选择泵的种类,根据放气量选择泵的抽速。而在真空电子技术领域里选择真空泵还应该考虑环境的清洁、工艺过程、反应气体的种类、反应产物的粒度等问题。以无油真空泵的选择为例, 如果反应生成物中含有颗粒, 就不应该选用表面接触类型的泵,如活塞型或旋片型泵等。

YIBANGONGYIZHONGDEYINGYONG

   1、N2 QINGXI N2 QINGXIDEMUDESHIXISHIZHENKONGBENGNEIBUDEFANYINGQITI;WEIBENGDEZHUANZHOUTIGONGMIFENG;FANGZHIZHENKONGBENGPAIQIKOUSHENRUKONGQIJISHUIFEN。N2QINGXIDEQITILIANGKEGENJUXUYAODIAOZHENG。

   2、PEILENGJING LENGJINGTONGCHANGSHIZHUANGZAIZHENKONGBENGDEXIQIKOUJIPAIQIKOUWEIZHI,MUDESHIJIANSHAOFANYINGSHENGCHENGWUSHENRUDAOBENGDE

LIANG,JIANQINGZHENKONGBENGDEFUDAN;JIANQINGFEIQICHULIDEFUDAN。

   3、温度控制 根据工艺过程反应生成物的不同,为防止其附着在泵内 ,对无油真空泵声音好听的女生兼职的排气口加热,或对上位泵实行温度控制。

   4、ZAIXIANQINGXI ZAIYONGLPCVDFAZHIBEILVHUAMODEGUOCHENGZHONG,HUISHENGCHUFUCHANPINLVHUAAN(NH4Cl),LVHUAANNENGRONGYU

水 。利用这一特性,对单级立式无油真空泵声音好听的女生兼职可进行在线自动清洗,不必将泵拆离生产线就能用清洗液做清洗工作。

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   利用PECVD工艺制备绝缘膜时,TEOS的反应副产物以白色粉末状通过真空泵,因此应选用非接触型真空泵。清洗气体使用NF3,C2F6,ClF3 等与上述反应副产物结合,再形成另一种副产物,对真空泵有不良影响,此时可利用降低真空泵温度的方法解决。

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